中微公司先进薄膜设备累计出货突破500个反应台

近日，中微公司迎来业务重要里程碑，公司先进薄膜设备累计出货量突破500个反应台，多款核心机型实现市场化落地，标志着其高端薄膜沉积设备完成规模化商用布局。

本次实现出货突破的先进薄膜设备品类丰富，涵盖低压化学气相沉积设备、金属薄膜沉积设备、介质薄膜沉积设备等核心机型，全面覆盖半导体制造主流薄膜沉积工艺需求。多品类设备的批量出货，印证了公司薄膜设备产品线的完整性与市场适配性。

此次500个反应台出货量突破，验证了中微公司高端薄膜沉积设备的技术可靠性、性能稳定性与量产交付能力，相关产品已获得行业客户的广泛认可。至此，薄膜设备业务正式成长为继刻蚀设备之后，中微公司又一核心增长业务板块。

作为国内半导体设备平台化龙头企业，中微公司长期布局刻蚀、薄膜沉积等核心半导体设备赛道。薄膜设备业务的规模化落地，补齐了公司半导体设备业务版图，推动企业平台化发展战略迈入规模化落地的全新阶段。

截至目前，中微公司已形成多品类、可量产、可规模化交付的高端薄膜设备产品矩阵，持续为国内半导体产业链自主可控发展提供核心设备支撑。

（校对/李正操）