消息称三星等韩企评估中微公司设备

据报道，三星电子和SK海力士正在评估中国半导体设备厂商中微公司（AMEC）的刻蚀设备，考虑未来用于其在中国的晶圆厂。

消息人士透露，两家韩国存储芯片企业约两年前已开始测试中微刻蚀设备。

目前，三星和SK海力士在中国均拥有重要存储芯片生产基地。三星在西安运营NAND闪存工厂，SK海力士则在大连布局NAND产线，并在无锡运营DRAM工厂。两家企业的中国工厂目前仍大量依赖美国应用材料、泛林集团等海外厂商提供的刻蚀设备。

消息人士称，三星和SK海力士担忧未来限制范围可能扩大至已安装设备的维护、维修和零部件更换，因此希望保留中国设备供应商作为潜在替代选择，主要用于保障现有产线稳定运行。

中微公司是中国领先的半导体设备企业之一，业内认为，如果中微设备能够通过三星或SK海力士验证，将成为中国半导体设备企业获得国际客户认可的重要突破。

近年来，中国半导体设备企业在刻蚀、薄膜沉积、清洗、平坦化等领域不断缩小与海外厂商差距。相比海外同类设备，中国设备价格通常更具竞争力。不过，进入全球头部晶圆厂供应链仍面临较长认证周期、服务网络、知识产权以及国际政策等挑战。

根据报道，三星方面表示，并未在其中国工厂测试中微设备，也未考虑相关计划；SK海力士则未对此置评。