美国商务部长质疑EUV光刻机流入中国，ASML强硬否认并提交自证文件
6月19日消息，据彭博社报道，美国商务部长霍华德·卢特尼克（Howard Lutnick）在今年4月的一场闭门会议中，向荷兰半导体设备巨头ASML首席执行官傅恪礼（Christophe Fouquet）等高管表达了一项严峻关切，称ASML生产的一台极紫外（EUV）光刻机可能已经违反美国主导的出口管制规定，流入了中国大陆。ASML及荷兰官方随后接连给出明确保证，再三强调中国不可能拿到其旗下最先进的EUV光刻机设备。
美方闭门会议发难，声称掌握证据但拒绝公开
知情人士透露，卢特尼克在4月一场涵盖ASML对美投资承诺等多个议题的会议中，当面将这一担忧传达给了ASML管理层。多名不愿透露姓名的美国政府高级官员向彭博社表示，他们掌握的证据显示，ASML向中国大陆出口了专门用于运输EUV机器的特殊设备以及可用于EUV系统的相关零部件，这表明ASML"并未诚信行事"。但这些官员以信息敏感性为由，多次拒绝提供证据，也拒绝说明是否掌握EUV系统已在中国境内的实质证据。
值得注意的是，这场紧张的闭门会议在公开层面被刻意淡化。事后，卢特尼克与傅恪礼均在社交媒体上以正面措辞形容会面，对EUV争议只字未提。
ASML强硬否认：从未向中国出口任何EUV设备或专属组件
面对美方质疑，ASML选择了措辞罕见强硬的回应。ASML公司发言人在发给路透社的官方声明中强调："ASML从未向中国大陆发运过EUV机器，也从未向中国大陆发运过任何专门设计用于EUV机器的组件、模块或设备。"
为证明这是"不存在的事实"，ASML向美方提供了一份名为《没有任何迹象表明ASML EUV系统在中国大陆》的文件。文件指出，目前全球有314台EUV机器在运行，26台已退役，中国境内数量为零。
ASML还从技术层面列举了"不可能性"：EUV机器体积如同一辆校车，重约180吨，产量有限，且需要ASML员工持续维护；机器内置自动检测系统，任何中断、异常行为或连接中断都能被追踪，未经ASML介入，客户无法自行移除、运输或搬迁系统。
高数值孔径极紫外光刻设备（High Numerical Aperture Extreme Ultraviolet，简称HINA EUV）的安装工作（图自：Intel）
ASML CEO傅恪礼在今年5月接受TechCrunch采访时也表达了类似观点。他表示，ASML早已建立内部防火墙，中国员工无法接触EUV核心技术，中国也没有任何接受过EUV技术培训的人员。"要进行任何逆向工程，首先需要有相应的设备。而中国根本没有EUV光刻机，我们从未向中国运送过任何设备。"傅恪礼说，"我们运送过的所有设备，我们都知道它们的下落。它们要么正在客户那里使用（我们会追踪这些设备的使用情况），要么已经被拆卸并退回给我们。认为我们的系统在中国的说法完全错误。"
EUV光刻机内部的复杂结构
商业逻辑：无动机冒险
从商业逻辑看，ASML向中国出售较老一代的深紫外（DUV）光刻设备，这些设备早在十年前就已开始出货。傅恪礼明确表示，这是一种深思熟虑的保护性策略，目的是保持足够的代际差距。ASML预计其2026年总收入中约有20%将来自于已经获得许可的对华销售。对于这家欧洲市值最高的科技企业而言，为了一笔非法的EUV销售而冒着失去整个中国市场、甚至被吊销全球出口许可证的风险，显然缺乏商业合理性。
荷兰政府力挺ASML
在这场争端中，荷兰政府第一时间站出来支持本国龙头企业。荷兰外交部在一份官方声明中表示："在半导体制造设备的出口方面，荷兰基于《欧盟两用物项条例》和额外的国家措施，制定了明确的规则和管制清单。"荷兰外交部补充称，该国"非常严格地执行这一政策，并在必要时采取干预措施"。
针对美国长期胁迫荷兰跟进对华科技封锁的相关情况，中国外交部发言人此前已明确作出回应，中方一贯坚决反对美国泛化国家安全概念，打着各类莫须有的借口胁迫其他国家一同参与对华科技封锁的霸道行径。后续中方也将密切关注相关领域的所有动向，坚决维护自身的合法正当权益。
指控背后的微妙棋局
这场风波的爆发，恰好处于一个极为微妙的时间节点。今年4月，华盛顿提出了一项法案，要求美国所有盟友与美国的出口管制措施保持一致，以进一步遏制中国制造先进半导体的能力，ASML生产的设备在该立法中被明确点名。与此同时，美国国会正在审议一项两党共同提出的法案，其限制措施比现有的EUV禁令走得更远，呼吁实际上禁止ASML向中国出口所有深紫外光刻设备，而这些不太先进的设备目前约占ASML 2026年预计收入的五分之一。这项法案已于4月在一个关键委员会获得通过。
此外，TechCrunch的报道还揭示了一个细节：在卢特尼克的领导下，美国商务部于去年年底同意向一家名为xLight的初创公司投入高达1.5亿美元的纳税人资金，该公司正在开发下一代光源技术，被外界视为对ASML EUV垄断核心的长期挑战。尽管xLight的首席执行官曾公开表示，该公司将自己视为ASML的未来合作伙伴而非竞争对手，但傅恪礼在今年5月接受采访时对此礼貌地表示了怀疑，明确表示ASML认为自己不需要xLight的技术来保持行业领先地位。
