安弧科技获数千万元天使轮融资，加速半导体静电卡盘国产化

据常春藤投资消息，近日，安弧科技宣布完成数千万元天使轮融资，本轮由常春藤资本领投，长投集团、常见投资跟投。资金将用于静电卡盘及配套控制器等半导体设备核心零部件研发，该公司总部已迁往浙江嘉兴经开区。

安弧科技专注于半导体制造关键部件-静电卡盘（ESC, E-CHUCK）的研发与生产。

目前，我国静电卡盘的研发制造仍处于起步阶段，进口依赖度达95%以上，被日韩美制造商高度垄断，属于“卡脖子”关键零部件，尤其在半导体制裁加剧的背景下，国产替代需求进一步增强。常春藤投资消息指出，安弧科技致力于打破国外厂商在半导体静电卡盘领域的长期垄断，推动国内半导体设备核心零部件的国产化进程，提升我国半导体产业的自主可控能力。

安弧科技创始人兼CEO李瀛龙拥有上海交通大学机械工程与密歇根大学（美国）航空航天工程双学士学位，联合创始人兼COO韩绍庭拥有复旦大学数学学士学位，二人作为硕士研究生同学共同毕业于加州大学伯克利分校（美国），毕业后分别在海外半导体设备研发与资本市场投融资头部企业任职十余年。归国后，两人一拍即合决定创业组建团队。据悉，该公司团队成员毕业于上海交通大学、复旦大学、加州大学伯克利分校（美国）、特鲁瓦科学技术大学（法国）、东京工业大学（日本）等国内外顶尖高校，曾就职于ASML等知名企业，在半导体设备零部件领域拥有丰富的研发实战经验。

静电卡盘相较于传统的机械卡盘与真空卡盘，能有效避免传统机械卡盘在使用过程中由于压力、碰撞等机械原因对晶片造成不可修复的损伤，减少颗粒污染，增大晶片的有效加工面积，同时克服了真空卡盘不可应用于低压环境的缺陷。静电卡盘已经取代了传统的机械卡盘与真空卡盘成为半导体装备中非常重要的通用零部件。

（来源：常春藤投资）

在静电卡盘材料选择上，安弧科技聚焦玻璃基，其工艺选择多、材料成本低、难度可灵活适配，热膨胀系数可调且有更加优异的耐压表现，在先进制程等领域具有突出优势 。

此外，安弧科技还提供高稳定性、低电磁干扰的配套器件，涵盖传感、偏压、热控等数字控制和电源模块，与静电卡盘产品形成协同，满足客户的多样化需求。

长投集团表示：本次投资安弧科技，将进一步增强区域产业链韧性，带动嘉兴市半导体产业向高技术、高附加值领域延伸。