投资超50亿元！全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线投产

据中电二公司消息，近日，由中电二公司承建的中国蚌埠传感谷8英寸MEMS晶圆生产线EPC项目首批产品成功下线，标志着全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线、全国首条工艺设备配套齐全的压电MEMS量产线正式投产。

项目总建设投资达50.6亿元，占地约79亩，总建筑面积约6万平方米。作为国家级重点项目、全部建成投产后，将具备月产3万片晶圆的能力，成为国内产出最大的MEMS全自动晶圆生产线。

据经开区生态环境分局消息，2024年8月23日，我局受理了《安徽华鑫微纳集成电路有限公司8英寸MEMS晶圆生产线项目环境影响报告表》（重新报批），现对该报告全本进行公示。根据公示，该项目为“8英寸MEMS晶圆生产线项目”，建设地点在安徽省蚌埠市经开区中国（蚌埠）传感谷东侧地块，建设单位为安徽华鑫微纳集成电路有限公司。8 英寸 MEMS 晶圆生产线项目由安徽华鑫微纳集成电路有限公司投资506175 万元兴建，位于安徽省蚌埠市经开区中国（蚌埠）传感谷东侧地块，总占地面积约 103000m2，项目分二期建设。

据蚌埠发布报道，2024年10月20日，蚌埠传感谷八寸线配套生产废水集中处理站EPC项目顺利完成主体结构封顶，正式步入设备安装及装饰装修阶段。