7.0级地震冲击中国台湾半导体晶圆厂，石英炉管损耗才是复工关键

中国台湾宜兰外海12月27日深夜发生规模7.0地震，业者分析，对半导体产业影响仅次于“921”大地震及2024年“0403”地震，尽管多数机台能快速复归，但石英炉管的破损程度与备料匹配度，将成为产线能否全面复原的关键。

石英炉管是半导体制造过程中，位于扩散制程机台核心的圆柱形容器，能提供相对纯净的空间，确保硅晶圆在加工过程中不被金属离子污染。由于石英“硬而脆”的特性，地震时的剧烈晃动容易导致炉管与机台框架发生碰撞而破碎。

提供逻辑与存储晶圆代工服务的力积电表示，竹科与竹南的8英寸、12英寸厂产线均受地震影响，主要为石英相关设备与材料，相关损害仍在评估与盘点，受损细节尚未完全明朗。目前影响范围涵盖产线设备与关键材料，待盘点结果出炉后，才能更精准量化对财务与产能的冲击。

力积电指出，此次地震的严重程度仅次于1999年“921”大地震和2024年“0403”地震、排在第三。从过往经验看，规模较小的地震后约2~3天，产线可恢复正常运作，但此次需视石英炉管备料与实际损坏状况而定。

力积电表示，石英炉管属关键流程环节，修复与更换所需时间较长，其他机台将尽快复归，但整体复原时程取决于石英炉管材料供应与安装恢复。虽然2024年“0403”地震后已增加石英材料库存，仍需评估可用性与匹配度，若有破碎需更换，将延长装机与校准的时间，进而影响后续晶圆交期。

存储厂南亚科表示，内部仍在针对地震灾损进行完整详细的确认，还需要多一些时间，预计12月29日上班会统一说明。

根据中国台湾地震报告，12月27日晚间11时5分发生芮氏规模7.0地震，地震深度72.8公里，震央位于宜兰县政府东方32.3公里（位于中国台湾东部海域），中国台湾多地最大震度4级。