AP Systems赢得维信诺8.6代OLED产线生产设备订单

据韩媒thelec报道，韩国晶圆厂和显示器生产设备制造商AP Systems近日表示，将为维信诺（Visionox）位于合肥的第8.6代OLED生产线V5独家供应关键设备——准分子激光退火（ELA）和激光剥离（LLO）系统。

维信诺此次在合肥V5园区投资高达550亿元人民币，目标是建设一条采用其自主研发的ViP（Visionox in-house Pixelation）技术的产线。

目前，FMM长期被日韩企业垄断，不仅成本高昂，且在大尺寸OLED生产中存在蒸镀效率低、良率难控等问题。而ViP是维信诺自主研发的“智能像素化”技术，核心在于用半导体光刻工艺取代传统的精细金属掩模（FMM），实现无掩模、RGB自对位像素化的AMOLED生产方案。

该技术的最大亮点在于无需使用传统的精细金属掩模（FMM），即可实现高精度RGB像素图案化。ViP技术被定位为 AMOLED+时代的升级平台，兼容多种显示技术（单层、Tandem 叠层等），可为从1 英寸到80 英寸的全尺寸面板提供统一的工艺路径。

不过，要实现ViP技术的高效量产，离不开上游核心设备的支持。AP Systems将提供ELA设备，用于将非晶硅转变为多晶硅。该工艺可将电子运动速度提高百倍以上，这对于高分辨率OLED面板至关重要。

而LLO工艺用于将玻璃基板与柔性OLED分离，主要通过利用激光束照射在聚酰亚胺基板和玻璃基板之间来实现。这一过程对激光能量控制精度要求极高，稍有偏差便可能损坏沉积的有机材料，直接影响面板良率与寿命。

AP Systems还表示，它不仅仅是V5项目的ELA设备唯一供应商，此前其也已为维信诺的V1、V2、V3产线提供同类设备。

 

责编：Jimmy.zhang