晶盛机电首条12英寸碳化硅中试线通线

（文/罗叶馨梅）11月20日，晶盛机电（300316.SZ）在投资者互动平台表示，公司碳化硅衬底材料业务已实现6-8英寸碳化硅衬底的规模化量产与销售，量产产品核心参数指标达到行业一流水平，8英寸碳化硅衬底在技术和规模方面处于国内前列。与此同时，公司首条12英寸碳化硅衬底加工中试线已正式通线。

晶盛机电介绍，当前公司正积极推进碳化硅衬底产品在全球范围内的客户验证工作，送样客户范围较此前有大幅提升，产品验证进展整体顺利。在持续扩大客户覆盖的基础上，公司已成功获取部分国际客户批量订单，海外市场认可度稳步提升，为后续放量奠定基础。

公司指出，6-8英寸碳化硅衬底主要面向车规级功率器件、新能源发电、工业控制等高端应用领域，随着新能源汽车渗透率提升和光伏、储能等下游需求增长，相关市场保持较高景气度。通过在晶体生长、缺陷控制与抛光工艺等关键环节持续投入，公司碳化硅衬底核心指标逐步对标国际一流水平，在良率和一致性方面积累了量产经验。

在此基础上，晶盛机电首条12英寸碳化硅衬底加工中试线正式通线，被视为公司在大尺寸碳化硅衬底布局上的重要进展。大尺寸化有望在同一片区内集成更多器件单元、摊薄单位芯片成本，同时对设备、工艺及材料提出更高要求，中试线通线将为后续工艺优化与规模化铺路。

业内人士认为，碳化硅作为第三代半导体材料，正处于从6英寸向8英寸、12英寸演进的关键阶段，具备大尺寸衬底量产与中试能力的企业，有望在下一轮技术迭代中抢占先发优势。在公司既有设备与材料协同基础上，晶盛机电碳化硅衬底业务的国际客户开拓进展及12英寸中试线的后续爬坡情况，将成为资本市场持续关注的焦点之一。

（校对/秋贤）