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压力传感器性能参数有哪些?压力传感器的误差能避免吗?
2021-06-04 来源:21IC电子网
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压力传感器的作用在于测量压力,通过压力传感器,我们能够获得准确的压力值信息。为增进大家对压力传感器的认识,本文将基于两方面介绍压力传感器:1、压力传感器的性能参数,2、压力传感器的误差。如果你对压力传感器具有兴趣,不妨继续往下阅读哦。


一、压力传感器的性能参数

压力传感器的种类繁多,其性能也有较大的差异,如何选择较为适用的传感器,做到经济、合理的使用。

1. 额定压力范围

额定压力范围是满足标准规定值的压力范围。也就是在最高和最低温度之间,传感器输出符合规定工作特性的压力范围。在实际应用时传感器所测压力在该范围之内。

2. 最大压力范围

最大压力范围是指传感器能长时间承受的最大压力,且不引起输出特性永久性改变。特别是半导体压力传感器,为提高线性和温度特性,一般都大幅度减小额定压力范围。因此,即使在额定压力以上连续使用也不会被损坏。一般最大压力是额定压力最高值的2-3倍。

3. 损坏压力

损坏压力是指能够加在传感器上且不使传感器元件或传感器外壳损坏的最大压力。

4. 线性度

线性度是指在工作压力范围内,传感器输出与压力之间直线关系的最大偏离。

5.压力迟滞

为在室温下及工作压力范围内,从最小工作压力和最大工作压力趋近某一压力时,传感器输出之差。

6.温度范围

压力传感器的温度范围分为补偿温度范围和工作温度范围。补偿温度范围是由于施加了温度补偿,精度进入额定范围内的温度范围。工作温度范围是保证压力传感器能正常工作的温度范围。

技术参数 (量程15MPa-200MPa)

参数 单位 技术指标 参数 单位 技术指标

灵敏度 mV/V 1.0±0.05 灵敏度温度系数 ≤%F·S/10℃ ±0.03

非线性 ≤%F·S ±0.02~±0.03 工作温度范围 ℃ -20℃~+80℃

滞后 ≤%F·S ±0.02~±0.03 输入电阻 Ω 400±10Ω

重复性 ≤%F·S ±0.02~±0.03 输出电阻 Ω 350±5Ω

蠕变 ≤%F·S/30min ±0.02 安全过载 ≤%F·S 150% F·S

零点输出 ≤%F·S ±2 绝缘电阻 MΩ ≥5000MΩ(50VDC)

零点温度系数 ≤%F·S/10℃ ±0.03 推荐激励电压 V 10V-15V


二、压力传感器误差

在选择压力传感器的时候我们要考虑他的综合精度,而压力传感器的精度受哪些方面的影响呢?其实造成传感器误差的因素有很多,下面我们注意说四个无法避免的误差,这是传感器的初始误差。

首先的偏移量误差:由于压力传感器在整个压力范围内垂直偏移保持恒定,因此变换器扩散和激光调节修正的变化将产生偏移量误差。

其次是灵敏度误差:产生误差大小与压力成正比。如果设备的灵敏度高于典型值,灵敏度误差将是压力的递增函数。如果灵敏度低于典型值,那么灵敏度误差将是压力的递减函数。该误差的产生原因在于扩散过程的变化。

第三是线性误差:这是一个对压力传感器初始误差影响较小的因素,该误差的产生原因在于硅片的物理非线性,但对于带放大器的传感器,还应包括放大器的非线性。线性误差曲线可以是凹形曲线,也可以是凸形曲线称重传感器。

最后是滞后误差:在大多数情形中,压力传感器的滞后误差完全可以忽略不计,因为硅片具有很高的机械刚度。一般只需在压力变化很大的情形中考虑滞后误差。

压力传感器的这个四个误差是无法避免的,我们只能选择高精度的生产设备,利用最新技术来降低这些误差,还可以在出厂的时候进行一定的误差校准,尽最大的可能来降低误差以满足客户的需要。