2024年一开始，ASML就发公告称，有两个许可证被吊销，分别是NXT:2050i和NXT:2100i光刻系统的许可证，ASML称，这影响到了少数中国客户。

当时这个消息发出来后，很多人不以为然，称目前ASML在售的浸润式DUV光刻机有多款，只是最新的两款受限而已，还有NXT:2000i、NXT：1980Di等可以卖。

而这4款光刻机，其实分辨率差不多，都能实现至少7nm，甚至5nm，区别只是生产效率而已，所以不用太过于担心。

不过，近日，ASML正式确认，不只是NXT:2050i和NXT:2100i，低端浸润式DUV光刻机，也受到限制了。

ASML表示称，“个别中国先进芯片制造晶圆厂将无法获得发运NXT:1970i 和 NXT:1980Di 浸没式DUV设备的许可证。”

这个“个别晶圆厂”是谁，估计不用我多说了吧，被列入美国“实体清单”的中国晶圆厂，大家都心里有数的。

事实上，在2023年10月，美国升级的禁令中，关于光刻机的指标，相比上一年，就有了更为严格的规定。

2022年10月份时，美国的具体要求是，光刻机如果采用193nm波长的光源，且分辨率小于45nm时，其光刻机套刻精度的DCO值小于1.5nm时， 不准出口，不在这个范围内的可以出口。

2023年10月份时，禁令升级了，193nm波长的光泊，且分辨率小于45nm时，如果其DCO值小于2.4nm时，就不能出口了，DCO值要求更严了。

而NXT:1970i/NXT:1980Di，采用193nm波长，分辨率是小于等于38nm， DCO值为1.6nm，所以其DCO值是大于1.5nm，又小于2.4nm的。

在2022年10月份的禁令之下，能够出口。但在2023年10月份的禁令之下，就无法出口了。

这也是为何ASML这次说明，对个别中国晶圆厂，无法出口NXT:1970i 和 NXT:1980i的原因。

按照这个政策的话，如果ASML不针对中国市场，对光刻机进行调整的话，那么这个“个别的的中国晶圆厂”，只能从ASML购得2013年首次出货的NXT:1965Ci型号光刻系统了。

不过，大家也不必太过于担心，2023年，中国企业从ASML采购了500亿元的光刻机，足够使用好几年，就算暂时买不到，至少最近几年内也不会缺少浸润式DUV光刻机，真正的困难是在几年之后，就看国产光刻机，到时候能不能顶上来了。