- 华为公布一项EUV光刻新专利
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- 不再需要EUV光刻机 国内首条光子芯片产线明年落地
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- ASML压力山大：EUV光刻机，到2nm时或走到尽头，垄断不再
- ASML首席技术官：High-NA EUV可能成为终点！2025年出货90台EUV、600台DUV！
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- ASML CTO：EUV光刻技术，或在2025年走到尽头，意味芯片工艺停止？
